金融界2024年11月15日音讯，国家知识产权局信息数据显现，谷歌有限责任公司请求一项名为“运用
金融界2024年11月15日音讯，国家知识产权局信息数据显现，谷歌有限责任公司请求一项名为“运用多层堆叠制作器材的办法”的专利，公开号CN 118946242 A，请求日期为2017年12月。
专利摘要显现，提出了一种制作器材的办法。该办法有在具有主外表的衬底(10、100)上构成多层堆叠(101 、102 、 103)。该多层堆叠包含构成在衬底的主外表之上的支撑层(102)和构成在支撑层上的光致抗蚀剂层(103)；图画化该多层堆叠以构成至少 个开口使得光致抗蚀剂层被支撑层底切；以及各向异性地干蚀刻衬底。
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